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      快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域和使用條件介紹

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      快速退火爐具有升溫速度快、密封好、溫度范圍寬、實驗方便等特點。
       
      真空快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域:
       
      - 離子注入/接觸退火;
      - 快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);
      - 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用;
      - SiAu, SiAl, SiMo合金化;
      - 低介電材料;
      - 晶體化,致密化;
      - 太陽能電池片鍵合
       
      快速退火爐適用于下列工作條件:
       
      (1)環(huán)境溫度在-10~75℃之間。
      (2)周圍環(huán)境的相對濕度不超過85%。
      (3)爐子周圍沒有導(dǎo)電塵埃,爆炸性氣體及嚴重破壞金屬和絕緣材料的腐蝕性氣體。
      (4)沒有明顯的傾斜﹑振動和顛簸。
      • 電話:022-26980130

      • 郵箱:15122725930@163.com

      • 地址:天津市北辰經(jīng)濟開發(fā)區(qū)雙川道11號

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