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技術文章
| SK-G06123K-R | SK-G06123K-2R | |
| 溫區 | 單溫區 | 雙溫區 |
|---|---|---|
| zui高溫度 | 1200℃ | |
| 加熱區長度 | 國產程420mm段程序 | |
| 恒溫區長度 | 210mm | 280mm |
| 加熱元件 | 高電阻合金絲OCr27Al7Mo2 | |
| 空爐升溫時間 | <15min | |
| 額定功率 | 3Kw | 3.2Kw |
| 額定電壓 | 220V | |
| 溫度控制 | 國產程序控溫系統可編輯50段程序控溫；進口程序控溫系統可編輯40段程序控溫； | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 石英管尺寸（mm） | Φ60x1000/Φ90x200mm | Φ60x1000/Φ90x300mm |
| 爐管材料 | 石英玻璃管 | |
| 旋轉速度 | 0-20/S | |
| 傾斜角度 | 40° | |
| 爐管zui高工作溫度 | ＜1200℃ | |
| 配置爐管時升溫速度 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1200℃≤2℃/min | |
| 外形尺寸（深x寬x高） | 340x580x555mm | |
| 重量 | 75Kg | |
| 標準配置 | 氣路總成一套 （含真空壓力表）、石英管一支、石英堵兩個、鉤子一把、高溫手套一副 | |
| 真空/氣氛總成配套（可選） | 真空控制系統: 中真空控制系統、高真空控制系統、真空測量系統； | |
| 氣路控制系統：氣體浮子流量控制系統、氣體質量流量控制系統； | ||
| 計算機集散控制系統； CVD電爐系統； | ||
