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網站首頁 產品系列 CVD系統/PECVD系統 質量流量控制系統
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更新時間：2025-02-27
廠商性質：生產廠家
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產品分類Product Categories
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一、操作便捷性：
1、方便的氣路快速連接口，簡化了流量控制系統與其他設備的鏈接。
2、配置有三種接口（寶塔式接口、雙卡套式接口、KF接口），方便組合多種連接方式。
二、控制智能化：
采用數顯流量顯示儀，配合質量流量控制器，采集數據并控制流量。具有控制精度高，重復性好，響應速度快，穩定可靠等特點（氣體質量流量控制器） 。
三、使用安全性：
1、采用單向閥技術，使氣體流量在可控壓力范圍內控制，安全。
2、采用混氣灌裝置，使氣體可以在充分混合后導入工作室內，確保不會泄漏。
四、周邊拓展性：
1、該氣體質量控制系統可配我公司生產的真空/氣氛管式電爐及真空/氣氛箱式電爐使用。
2、該氣體流量控制系統可以與我公司生產的真空控制系統組合使用。
3、可為用戶定制多路氣路產品。
規格 | 產品型號 | 氣路數量 | 流量控制方式 | 連接方式 | 流量計 | 流量范圍 | 精度 | 響應時間 | 工作溫度 | 工作壓力 | 外形尺寸mm | 重量 | 標準配件 |
質量流量 | ZL-02H | 兩路 | 數顯流量控制儀 | 雙卡套接頭 | 質量流量計 | 0-500sccm(標準毫升/分）氮氣標定 | ±1%F.S | ≤4sec | 5-45℃ | 進氣壓力0.05-0.3Mpa | 530x670x710 | 48kg | PUΦ6管/每路2米Φ4*15mm不銹鋼襯管5個 |
ZL-03H | 三路 | ||||||||||||
ZL-04H | 四路 |
